真空问题直接影响处理效果，因为等离子体的产生依赖于特定气压范围。真空度偏高（即气压太高、抽不下去）的常见原因有以下几种。首先是腔体密封性问题，O型密封圈长期使用后会老化变硬失去弹性，特别是经常高温处理的设备，密封圈寿命会明显缩短。其次是真空泵油污染或油量不足，旋片式真空泵对油品要求较高，油乳化或油位过低都会导致抽气效率下降。第三是腔体内有泄漏点，比如进气阀关闭不严、真空规管接口松动、或腔体壁有微小裂纹。第四是被处理工件本身放气严重，某些塑料或橡胶在真空环境下会持续释放挥发物，导致真空度居高不下。解决方案：定期更换密封圈（建议每6-12个月一次），定期检查并更换真空泵油；放入工件后先预抽3-5分钟观察真空度变化，如果工件放气严重，可先用低功率预处理释放挥发物再正式处理；如果真空度始终无法达标，需要用检漏仪逐段排查泄漏点。