点火失败是新手遇到最多的故障，排查需要按顺序来。第一步检查气体供给，很多时候问题出在气瓶没开、减压阀未调节、气管接头松脱或气体流量计归零。没有气体通入，腔体内无法形成放电条件，自然无法点火。第二步检查真空状态，如果是真空型等离子清洗机，腔体必须先抽到一定真空度（通常在10-100Pa之间）才能击穿气体产生等离子体。如果真空泵工作异常或密封圈老化漏气，真空度达不到，点火必然失败。第三步检查电源和射频匹配器，高频电源模块故障或阻抗匹配失调会导致能量无法有效耦合到腔体中。第四步检查电极状态，电极表面如果有严重氧化或积碳，放电间隙的电场分布会被改变，导致击穿困难。解决方案：先确认气体已打开且流量正常，再确认真空度达标，然后尝试短按点火测试；如果反复失败，联系厂家检测射频电源和匹配网络，不要自行拆机。