问题：设备真空度抽不下去，始终达不到工作要求

问题描述：启动抽真空程序后，真空计显示数值长时间停留在较高水平（如100Pa以上），无法降到设备要求的工作真空度（通常需低于10Pa），导致无法正常启动等离子体，或者启动后频繁报警停机。

原因分析：真空度异常是等离子清洗机最常见的故障之一。最可能的原因是腔体密封失效，包括门封条老化变形、O型圈磨损、观察窗密封不良等，导致外界空气持续泄漏进入腔体。第二个常见原因是真空泵性能下降，泵油乳化、叶片磨损或进气口滤网堵塞都会导致抽气效率降低。第三，如果工件放入前未充分干燥，水分在真空环境下蒸发会产生大量水蒸气，严重影响真空度。第四，腔体内部零部件（如电极、绝缘件）放气严重，尤其是新设备或长期未使用的设备，材料会持续释放吸附气体。

解决方案：第一步，检查并更换门封条和所有O型圈，这是成本最低且最常见的修复方式，建议每半年检查一次。第二步，更换真空泵油，清洗或更换进气口滤网，如果泵油已严重乳化变白，必须彻底更换。第三步，放入工件前确保充分干燥，可用烘干箱预热至60-80℃后再放入腔体。第四步，对于新设备或长期停用设备，建议先空腔运行3-5次"抽真空-破空"循环，让腔体材料充分放气后再正式使用。第五步，如果以上都无法解决，需用检漏仪对腔体逐段检测，定位泄漏点后针对性维修。