真空等离子清洗机的维护保养内容主要包括以下几个方面。

真空腔和电极板的清洁。真空腔和电极板是处理工件的工作区，当使用到一定时间后，腔体内会残留部分污垢，附着在电极板及腔体壁上。一般连续使用一个月后，应用无尘布（纸）沾酒精清洁所有电极板及腔体壁，保持腔体清洁，以确保等离子体的产生和作用效果。

观察窗的维护。观察窗是工作人员在工作时对腔体内放电情况进行观察所用，使用一段时间后会造成观察窗玻璃的表面微蚀，使其变得模糊不清。此时要用无尘布（纸）沾酒精或丙酮对玻璃进行清洁，若清洁效果不佳，则直接更换真空玻璃，保证能够清晰地观察腔体内的情况。

真空泵的保养。真空泵内所使用油为防氧化专用油，及时更换有利于真空泵的正常工作，延长泵体的使用寿命。建议每三个月更换一次，同时要经常注意观察真空泵内油量是否充足，油面计指示油面若低于使用下限，及时注入新油至正常用油量。更换真空泵油时，要打开真空泵加油口的注油塞和放油阀上的放油塞，将油安全放出，清放干净后将放油塞拧紧，再将新油从加油口注入，加入超过下限适量即可。此外，真空泵排气口外接油雾过滤器，能去除从真空泵排出的近90%的油雾，防止工作环境的污染，还可起到消音效果，要定期更换过滤器滤芯，建议每三个月更换一次，如遇不排气情况，检查滤芯是否堵塞，必要时需考虑更换滤芯。

等离子发生器的调校。等离子发生器为高频器件，涉及到频率飘移等问题，使用后应在2年左右调校一次，用户要确定时间与厂家联系，返厂进行校正和调整，以保证设备的性能稳定。

设备密封件的更换。设备密封件一般18个月左右更换一次，其后也需每隔18个月更换一次，以确保真空密封的可靠性，防止漏气影响设备的正常运行。

输气管道和真空系统的检查。定期检查输气管道的完整性及真空密封性，这种检查应该在彻底的清洗反应室之后进行，以避免污染物遗漏在腔体中。定期检查反应腔体门的密封条是否松动，检查各输气管道路线是否连接紧固及有无老化等问题，同时检查电压是否与设备匹配。