真空等离子清洗机在使用过程中可能会出现一些常见故障，以下是一些常见故障及排除方法。

设备突然报警且系统参数归零，可能是设备突然断电引起的。此时应首先观察系统参数设置有无变化，若参数归零，重新设置参数即可。若系统参数无变化，检查热继电器是否自动保护，按复位键，然后启动真空发生系统；如没有自动保护，检查电气线路有无断路或短路情况。

气路控制系统报警，如一路或二路供气压力过低，先检查气体是否开启或气体是否耗尽。若气体没有问题，检查设备减压表、气路电磁阀及流量计是否正常工作，检查电气线路是否出现断路或短路。放空气体压力过低时，检查真空等离子清洗机腔体底部的破真空所用气路电磁阀是否正常工作，线路有无断路或短路。

真空腔门相关报警，在真空腔门没有关上的情况下启动设备会出现此类报警，关好真空门即可；若真空腔门关好仍出现报警，检查传感器及线路。

真空泵机械故障，检查真空泵抽空能力，若故障排除后点击复位键；若所处理产品有严重渗气情况，且真空倒计时时间设备较短，无法在设备时间内抽到背底真空，可适当延长真空倒计时时间；若真空泵本身故障，需进行保养或维修。

真空度异常报警，如真空度过高，系统自动停机，检查进气流量设置是否较大，无法保持真空度；检查流量计是否故障，无法控制流量，检查线路及流量计；检查真空腔体或管道是否漏气，检查各连接部位及腔体密封；检查系统参数设置是否正确。若真空度过低，系统自动停机，检查供气是否正常，进气流量设置是否较小，无法保持真空度。