就等离子清洗机而言，气体放电是最常用的方式。气体放电分为多种类型，如自持放电、火花放电、辉光放电、高频放电、低频放电、微波放电、脉冲放电等。以下就两种等离子清洗机所采用的气体放电方式展开介绍：

　　低频放电

　　低频放电的频率一般在50～500KHz，其原理是在电极间利用低频电场激发产生等离子体，这种方式在材料表面改性中大量应用。低频放电由于交流电场作用，其放电电压远低于直流放电，并且随着频率的提高放电电压和维持电压降低，低频放电的放电模式与频率相关，频率较低时，和直流辉光放电类似，此时电子和离子移动距离短，电离度低;当频率提高到一定数值，电子和离子在电极间振荡运动，移动行程增大，与气体分子发生碰撞的机率增大，电离度提高。目前市面所售的等离子清洗机有低频放电方式，频率为40KHz，低频放电符合辉光放电的特性，与射频放电相比，电流很小，不存在阻抗匹配的问题，结构简单，多为电容耦合结构，因此电极的二次污染问题仍然存在。

　　高频放电

　　高频放电又称射频放电，其放电频率通常在10-100MHz之间。在放电过程中放电方向随着电极极性的调换而调换。在电源放电频率较低的时候放电会不稳定，随着电源放电频率的增大，当频率增大一定程度后就会开始稳定放电。在高频放电的过程中，带电粒子在高频电场的作用下在两极板间运动。因为离子运动的轨迹很长，所以在较长的运动轨迹内分子互相碰撞概率会得到增大，由此高频放电的电离度相比于辉光放电会高很多。目前射频放电的国际通用标准频率为13.56MHz。根据耦合方式分类，大致可以分为两种，一种是电容耦合另一种是电感耦合。电容耦合大多采用内置的平板电极模式，放电时在两极板上加射频电源，在两极板间气体激发产生等离子体。与之不同的是电感耦合大部分利用外电极放电，其原理是应用电磁感应将感应线圈缠绕在放电腔体外部激发出二次电场，从而激发腔体内的气体产生等离子体。这两种耦合方式各有优劣。