在线式（自动化）微波等离子体系统
发布时间：2024-11-01 17:10:41
作者：奥坤鑫(苏州)机电科技有限公司
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产品简介
产品介绍
规格参数
项目 | 固态源版本 | 磁控管版本 |
输出功率 | 250W×8 | 1.25kW×2 |
输出频率 | 2400MHz-2500MHz可调节 | 2450MHz±25MHz |
频率误差 | ±50ppm | 1-2% |
微波泄露 | ≤2mW/cm2 | ≤2mW/cm2 |
冷却方式 | 水冷（1/8宝塔接头，水流量≥2.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差≤10°C） | 水冷（DN15宝塔接头，水流量≥2.5L/min，进水温度小于环境温度时，两者温度差≤10°C） |
工艺气体 | Ar、O2、H2、CF4等 | Ar、O2、H2、CF4等 |
等离子处理 面积 | 0.19m2 | 0.15m2 |