真空泵组是整台设备的"肺"，一旦它喘不上气，清洗质量必然一塌糊涂。真空泵组由机械泵和分子泵串联组成，二者是"一荣俱荣、一损俱损"的关系。机械泵负责粗抽，若其抽速变慢而未及时处理，大量未抽尽的气体会直接冲击分子泵，导致分子泵过载甚至损坏——这是最常见也最昂贵的故障链。日常必须做到三件事：第一，经常检查机械泵和分子泵的油位，确保油面在厂家标定的最高与最低允许液面之间，油色暗淡污浊时立即更换；第二，留意过滤器是否堵塞，定期更换滤芯；第三，使用油泵系统时，操作完毕务必按正确顺序关机——先关RF射频开关，再关主机电源，三通阀稍微卸压，然后关真空泵，最后完全卸压。这套流程能有效防止泵油从真空软管倒吸回流污染整个系统。若配套的是干泵，实验室湿度高时需定期排水汽，累计运行达到5000小时建议做一次深度维护保养。