气体是等离子体的"原料"，原料供给不稳，清洗效果必然参差不齐。最直观的表现是设备频繁报警"供气压力过低"。排查顺序要从源头开始：先看气瓶减压阀——将其调至0.2MPa以上，若指针持续回落而气瓶内尚有余气，说明减压阀内漏，必须更换；指针稳定在绿色标识区域则气压正常。其次检查气路电磁阀和质量流量控制器（MFC），电磁阀卡滞会导致气体时断时续，MFC漂移则造成流量设定值与实际值偏差。气体纯度同样不可忽视——工业气体中若混入水分或杂质，不仅影响等离子体密度，还可能在腔壁形成沉积物。建议每6个月检查一次视窗透光率，石英玻璃老化模糊会干扰工艺观察；同时用无尘布蘸酒精或异丙醇擦拭腔体内壁，防止污染物积累成为二次污染源。气体流量的经验值一般控制在20~100sccm区间，具体需根据腔体容积和工艺需求微调。