问题表现：等离子清洗机在连续运行中易因电极老化、真空系统泄漏或气体供应波动导致工艺中断。例如，电极表面溅射沉积物积累会改变等离子体分布，引发处理效果波动；真空泵油污染或密封件磨损会导致腔体真空度不足，触发设备停机保护；气体流量计精度下降则会造成气体比例失调，影响清洗效果。
解决方案：
智能自诊断与维护系统：集成压力传感器、流量计与光谱分析仪，实时监测电极状态、真空度及气体成分。
模块化设计提升可维护性：将电极、真空泵、气体控制单元设计为独立模块，支持快速更换与在线维护。
冗余备份系统：为关键部件（如真空泵、电源）配置双备份，当主系统故障时自动切换至备用系统。
