现象：气体流量显示波动大，或实际流量与设定值不符。
原因分析：

1. 质量流量计故障：传感器漂移、阀体堵塞或电路板损坏。

2. 气源压力不稳：供气压力低于设备要求（通常需≥0.4MPa）。

3. 管路设计缺陷：弯头过多或管径过小导致压降过大。
   处理方案：

4. 流量计检修：

• 用标准流量源校准质量流量计，若误差＞2%需更换。

• 拆解阀体，用酒精清洗内部通道，去除颗粒物堵塞。

5. 气源优化：

• 增加储气罐缓冲气源压力波动，确保供气压力稳定。

• 检查减压阀设定值，避免输出压力过低。

6. 管路改造：

• 减少不必要的弯头，采用大曲率半径设计。

• 增大管径（如从Φ6mm升级至Φ8mm），降低流阻。