等离子体不稳定：电源与气体参数优化

问题描述：设备运行过程中，等离子体光斑不均匀或闪烁，导致清洗效果不一致。
原因分析：

1. 电源参数设置不当：射频功率过高或过低、功率波动过大。

2. 气体纯度不足：气体中混入杂质（如水分、油污）或气体流量不稳定。

3. 电极污染：电极表面积碳或氧化，影响等离子体生成效率。
   解决方案：

• 电源参数调整：

• 根据玻璃基板材质和污染物类型，设置合适的射频功率（如100-300W）。

• 启用电源稳压功能，确保功率波动≤±5%。

• 气体纯化：

• 使用高纯度气体（如99.999%的氩气或氧气），并安装气体过滤器（过滤精度0.01μm）。

• 检查气体流量计，若指针波动过大，需拆卸清洗或更换。

• 电极清洁：

• 打开腔体，用细砂纸轻轻打磨电极表面，去除积碳和氧化层。

• 若电极变形或裂纹，需更换同型号电极。