真空度无法达标：真空系统故障处理

问题描述：设备启动后，真空泵运行但腔体真空度无法达到设定值（如100Pa以下），影响清洗效果。
原因分析：

1. 真空泵故障：泵油不足、油色浑浊、泵体磨损或密封圈老化。

2. 真空管道泄漏：管道连接处松动、密封圈破损或腔体门密封不严。

3. 样品渗气：玻璃基板表面吸附水分或有机物，在真空环境下释放气体。
   解决方案：

• 真空泵维护：

• 检查泵油位，若低于“MIN”刻度线，需补充专用真空泵油（如Fomblin Y25）。

• 若油色发黑或浑浊，需彻底更换泵油，并清洗泵体内部。

• 检查泵体密封圈，若老化或变形，需更换原厂配件。

• 管道与腔体检修：

• 用氦质谱检漏仪检测管道连接处，若发现泄漏，需紧固接头或更换密封圈。

• 检查腔体门密封圈，若破损或变形，需涂抹真空硅脂后重新安装。

• 样品预处理：

• 对玻璃基板进行预热处理（如60℃烘烤30分钟），去除表面吸附的水分和有机物。