电极板设计对清洗效果有哪些关键影响？
电极板的材质、形状及布局直接影响等离子体密度与均匀性。主流设备采用6061铝合金或不锈钢电极板，前者耐高温且导电性优异，后者抗腐蚀性强，适用于化学活性气体环境。电极板形状多为平板式或网状结构：平板式适用于大面积均匀清洗（如汽车内饰件处理），网状结构则通过增加边缘电场增强局部等离子体密度，适合微孔或复杂结构清洗（如MEMS传感器封装）。以SAT 220型设备为例，其电极板直径110mm，采用悬挂式设计，与样品台间距可调，通过优化电场分布使3D硅通孔（TSV）内壁清洗均匀性达99.9%，支撑先进封装良率提升。